薄膜计量专家
什么是椭偏仪？
椭偏仪是测量光在材料上反弹或穿过材料时偏振变化的常用技术。它提供两个关键信息：振幅比 (Ψ) 和相位差 (Δ)，它们共同揭示了薄膜的厚度和光学常数。但这仅仅是开始，椭偏仪还能告诉您材料的成分、结晶度、表面粗糙度甚至掺杂水平。
这项技术已经大受欢迎，尤其是它能够测量纳米尺度的超薄薄膜，这在微电子等领域至关重要。如今，无论是电介质、金属还是超导体，椭偏仪都是半导体行业研究中不可或缺的工具。
光谱
椭偏仪
使用我们的非破坏性光谱椭偏仪系列工具，深入了解薄膜和表面的光学特性。
光谱
反射测量
使用我们经久耐用的反射测量工具，确定有关薄膜材料特性的宝贵信息，包括折射率和厚度。
计量
用于质量控制
我们的质量控制工具可确保测量的准确性、可靠性和精确性，从而获得准确的数据、可重现的结果、统一一致的测量结果，实现稳健而有意义的统计过程控制。
现场计量学
端点检测
利用我们的工具避免缺陷或层损坏，同时通过对自然环境中的材料或工艺进行不间断的实时测量、表征和终点检测，提高时间和资源效率。
