主要特点和优势
快速测量
SENTECH 的运行 SENresearch 4.0 原位光谱椭偏仪（SER 801 和 SER 801 DUV）是非常方便、快捷的工具。只需点击一下，即可测量 200 纳米到 1000 纳米之间的整个椭偏光谱或用户定义的光谱范围，并在几秒钟内显示结果。
高灵敏度、低噪音、紫外线增强检测系统
紫外概念的设计旨在实现低杂散光、高紫外灵敏度和最佳信噪比，即使是 AR 涂层等低反射样品也不例外。
易于安装，可在原位和非原位结合使用
SENTECH SENresearch 4.0 原位分光椭偏仪（SER 801 和 SER 801 DUV）的配置为 SENresearch 4.0 分光椭偏仪。它取代了测角器和样品台，并配备了机械装置和窗口，可将椭偏臂安装到典型的加工室中。只有光学元件连接到光学臂上，从而实现了非常稳定可靠的运行。
SENTECH SENresearch 4.0 原位光谱椭偏仪（SER 801 和 SER 801 DUV）基于阶跃扫描分析器（SSA）原理，使用快速 CCD 阵列检测来获取完整的 (Ψ, Δ)光谱。
灵活性和模块化
"(《世界人权宣言》) SENresearch 4.0 原位光谱椭偏仪是一种测量工具，用于以高光谱分辨率监测蚀刻和沉积过程，以生成终点或表征层。
从 200 nm / 240 nm 到 1000 nm 的全光谱范围，以及 SENTECH 的高光谱分辨率。 SENresearch 4.0 原位光谱椭偏仪（SER 801 和 SER 801 DUV）的高检测速度使其成为原位过程监控的理想工具。紫外概念的设计旨在实现低杂散光、高紫外灵敏度和最佳信噪比，即使是 AR 涂层等低反射样品也不例外。
SENTECH SENresearch 4.0 原位光谱椭偏仪（SER 801 和 SER 801 DUV）基于阶跃扫描分析器 (SSA) 原理，使用快速 CCD 阵列检测来获取完整的 (Ψ, Δ) 光谱：
偏振器--样品--分析仪模式（PSA）和偏振器--样品--补偿器--分析仪模式（PSCA）可确保测量偏振程度，并补偿因样品不均匀、表面粗糙、光谱分辨率有限和聚焦角度造成的去极化效应。步进扫描模式可实现从超低反射样品到高反射镜的最高动态范围。
使用补偿器，可在 0° - 360° 范围内高精度测量椭偏角度 Δ。补偿器在环境温度变化时也能保持高度稳定，即使在 Δ 为 0° 左右时，也能将漂移和测量误差降到最低。
进一步了解为什么 SENTECH SENresearch 4.0 台式机也是原地使用的正确选择。
