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激光椭偏仪由于其精确性、非破坏性以及能够以极高的精度探测极薄层,因此在薄膜测量方面非常有效。激光椭偏仪的主要优势之一是对超薄薄膜的高灵敏度,包括厚度仅为几埃的薄膜。
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多角度激光椭偏仪
激光椭偏仪
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测量透明薄膜的厚度和折射率, [...]
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"(《世界人权宣言》)
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结合了椭偏仪和反射仪,消除了测量层厚时的模糊性 [...]
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