FTPadv 薄膜厚度探头

FTPadv 是一种经济高效的台式光谱反射仪解决方案,具有快速厚度测量的特点。测量时间小于 100 毫秒,精度低于 0.3 纳米,薄膜厚度范围为 50 纳米 - 25 微米。包括多种预定义配方,便于进行光谱反射测量操作
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主要特点和优势

获得薄膜厚度的捷径

通过选择和启动适当的配方,SENTECH FTPadv 反射仪可在 100 毫秒内完成厚度测量,精度小于 0.3 nm,厚度范围为 30 nm - 25 µm。

独特的自动建模功能和基于 SE 的材料库

通过比较测量的反射光谱和光谱库,可将操作员的误差降至最低。基于 SENTECH 最精确的光谱椭偏仪测量的大型材料库,为测量新材料的光学常数提供了配方。

最佳应用专长

30多年来,森泰克成功地销售了FTPadv膜厚探头,用于各种应用。这款台式反射仪可以在工业或研究环境中,通过远程或直接控制,在低温或高温条件下,就地或在线测量从小样到大窗玻璃的厚度。

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SENTECH FTPadv 台式反射仪能够准确、可重复地探测反射基底和透明基底上透明薄膜和弱吸收薄膜的厚度和折射率。该工具可安装在显微镜上,也可配备稳定光源,用于测量厚度不超过 25 µm 的膜层厚度(可根据要求加厚)。SENTECH拥有丰富的光谱椭偏仪专业知识,其庞大的数据库中包含了各种预定义的、经过客户验证的和随时可用的应用。

灵活性和模块化

森泰克 FTPadv 的一个主要特点是可以测量多层样品中任何一层的厚度,这使得 FTPadv 成为薄膜厚度测量的理想、经济的解决方案。用于过程控制的 FTPadv 由带支架和样品架的光纤束、带卤素灯的稳定光源、FTP 光学元件和控制器站组成。通过局域网与个人电脑连接,可在恶劣的工业应用环境、受特殊保护的房间或大型机械中远程控制该工具。

FTPadv 反射仪有大量全面的预定义配方,如半导体上的电介质、半导体上的半导体、硅上的聚合物、透明基底上的薄膜、金属基底上的薄膜等。独特的自动建模功能可通过与光谱库的比较快速检测样品类型。该反射仪将操作误差降至最低。通过光学反射测量薄膜厚度从未如此简单。

FTPadv 菜单驱动操作软件可在出色的操作员指导下测量单层和多层结构的厚度。此外,它还具有强大的分析工具和出色的报告功能。此外,还提供用于控制电动样品台的附加绘图软件。将软件升级为软件包 FTPadv 专家 通过应用未知或不同光学特性的材料,高级反射测量分析软件包扩展了标准软件包。因此,可以进行厚度测量,分析单层薄膜的折射率和消光系数。

配置:

  • 台式独立薄膜厚度探头
  • 光谱范围:取决于显微镜
  • 薄膜厚度范围:高达 25 000 纳米
  • 与显微镜一起使用的配置
  • 可选个人电脑
  • 台式独立薄膜厚度探头
  • 光谱范围430 纳米 - 930 纳米
  • 薄膜厚度范围:高达 25 000 纳米
  • Y 型纤维束
  • 可选个人电脑
  • 用于不同显微镜的适配器
  • FTPadv 专家 软件
  • 经过认证的 SENTECH 晶圆
  • 个人电脑
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