1000 马币RM 2000 光谱反射测量工具

RM 1000/2000 的光谱反射仪具有从紫外到近红外的 200 nm - 930 nm 光谱范围。光学布局针对光吞吐量进行了优化,即使在粗糙或弯曲表面上也能可靠地测量 n 和 k,并可进行精确的高度和倾斜调整。
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主要特点和优势

突破折射率测量的极限

通过调整样品的高度和倾斜度以及光学布局的高光传导性,森泰克光谱反射仪可以进行最精确的单光束反射率测量,从而实现 n 和 k 的可重复测量、粗糙表面的测量以及极薄薄膜的厚度测量。

紫外至近红外光谱范围

1000 马币          410 纳米 - 1000 纳米

RM 2000          200 纳米 - 1000 纳米

高分辨率测绘

光谱反射仪 1000 马币RM 2000 可选择配备 x-y 绘图平台和绘图软件,以及用于小光斑的物镜。

SENTECH RM 2000 for spectroscopic reflectometry
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光刻胶厚度图 /硅(衬底),步长分别为 50 微米和 25 微米

SENTECH RM 2000 Spectroscopic Reflectometry

反射测量
在粗糙表面上

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X-Y 绘图平台

"(《世界人权宣言》) 1000 马币RM 2000 分光反射仪可测量表面光滑或粗糙的平面或曲面样品的反射率。单层薄膜或层堆的厚度、消光系数和折射率可使用 SENTECH FTPadv 专家 软件。厚度在 2 纳米到 50 微米之间的单层薄膜 (RM 2000)或 100 微米(1000 马币)、层堆和基底可在紫外-可见-近红外光谱范围内进行分析。

 

灵活性和模块化

SENTECH 1000 马币RM 2000 代表了我们的高端反射仪。台式设备包括高度稳定的光源、带自动准直望远镜和显微镜的反射光学镜组、摄像机、高度和倾斜度可调的样品平台、光谱光度计和电源。它还可选配 x-y 绘图平台和绘图软件,以及用于第二光斑尺寸的物镜。

除了薄膜厚度和光学常数外,我们的反射仪还能测量薄膜的成分(如氮化镓上的氮化铝、硅上的锗)、AR 涂层(如纹理硅太阳能电池、对紫外线敏感的氮化镓器件)以及小型医疗支架上的涂层。这些反射仪支持微电子、微系统技术、光电子、玻璃涂层、平板技术、生命科学、生物技术等领域的应用。

全面的、以配方为导向的 SENTECH FTPadv 专家 反射仪软件 1000 马币/ 2000 包括测量设置、数据采集、建模、拟合和报告。该系统已内置了一个广泛的数据库,其中包含客户预定义的经过验证且随时可用的应用程序。自动建模选项允许从光谱库中自动选择样品模型。基于森泰克在光谱椭偏仪方面的专业技术,庞大的材料库和各种色散模型使我们的光谱反射仪能够分析几乎所有的材料和薄膜。操作人员可以根据新的光学数据轻松地更新资料库。森泰克支持客户通过光谱椭偏仪测量光学性质未知的新材料。

配置:

  • 光谱范围410 纳米 - 1000 纳米
  • 薄膜厚度范围:2 纳米 - 100 微米
  • 光斑尺寸:80 微米

  • 光谱范围 200 纳米 - 1000 纳米
  • 薄膜厚度范围:2 纳米 - 50 微米
  • 光斑尺寸:100 微米

材料数据库包括

  • 半导体上的电介质
  • 半导体外延薄膜
  • 半导体上的金属薄膜
  • 金属基底上的薄膜
  • 透明基底上的薄膜
  • 绘图(最大 200 x 200 毫米2)
  • 第二物镜
  • SprectraRay/4 软件
  • 个人电脑

的选项 1000 马币/2000 支持许多行业的应用:

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