主要特点和优势
光谱范围最广，光谱分辨率最高
SENTECH SENresearch 4.0 椭偏仪的光谱范围最广，从 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（近红外）。傅立叶变换红外椭偏仪具有很高的光谱分辨率，可分析厚度达 200 µm 的厚膜。
采用 SSA 原理，无活动部件
在数据采集过程中没有移动的光学部件，从而获得最佳的测量结果。步进扫描分析仪（SSA）原理是该仪器的独特之处。 SENresearch 4.0 光谱椭偏仪。
通过创新的 2C 设计实现全穆勒矩阵
创新的 2C 设计扩展了 SSA 原理，可以测量整个穆勒矩阵。2C 设计是一种可现场升级的高性价比配件。
自动高度和
倾斜调整
选项和实地考察
可分级配件
电动金字塔
测角器（20° - 100）
SENTECH SENresearch 4.0 它采用快速傅立叶变换红外椭偏仪，近红外光谱可达 2,500 nm 或 3,500 nm。它具有最宽的光谱范围、最佳信噪比和最高的可选光谱分辨率。可测量厚度达 200 µm 的硅薄膜。傅立叶变换红外椭偏仪的测量速度可与二极管阵列配置相比，后者的可选范围也高达 1,700 nm。
灵活性和模块化
电动金字塔测角仪的角度范围为 20 度至 100 度。光学编码器确保了角度设置的最高精度和长期稳定性。分光椭偏仪臂可独立移动，用于散射测量和角度分辨透射测量。
该工具采用阶跃扫描分析仪（SSA）原理。SSA 使强度测量与机械运动分离，因此即使是粗糙的样品也能进行分析。在数据采集过程中，所有光学部件都处于静止状态。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于绘图和现场应用的快速测量模式。
定制的椭偏仪 SENresearch 4.0 可针对标准和高级应用进行配置。例如，介电层堆叠、纹理表面以及光学和结构（三维）各向异性样品。为各种应用提供预定义配方。
光谱射线/4 是该工具的综合光谱椭偏仪软件。它包括两种操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允许轻松执行常规应用。交互模式通过交互式图形用户界面指导椭偏测量。
的选项 SENresearch 4.0 支持许多行业的应用：
- 微电子学
- 玻璃涂层
- 显示技术
- 生物科学
- 生命科学
