主要特点和优势
关于 SpectraRay/4
光谱椭偏仪软件 SpectraRay/4 是专有的光谱椭偏仪软件。它包括数据采集、建模、拟合以及椭偏、反射和透射数据的扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。SpectraRay/4 包含一个基于 SENTECH 厚度测量和文献数据的大型综合材料数据图书馆。大量的色散模型允许对几乎所有类型的材料进行建模。
制图
我们的光谱椭偏仪的绘图选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计数据，以及二维彩色、灰色、等值线、平均值+/-偏差和三维图的数据图形显示。
模拟
测量参数可作为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数进行模拟。
利用 SpectraRay/4 进行多层分析 - 硅的厚度3N4/Si02/Si3N4 (纳米）。
互动模式
- 设置测量参数并开始薄膜厚度测量
- 从材料库或已有的分散模型中拖放建立模型
- 定义和改变参数，使计算光谱与测量光谱相匹配
- 交互式改进模型，以获得最佳性能指标
- 从预定义或定制的模板中进行选择，以 word 文档的形式报告结果
- 在一个实验文件中保存所有实验数据、方案和注释
配方模式
SpectraRay/4 配方模式的优势在于两步操作：
- 选择和
- 执行库中的预定义配方。
第一步
测量
第二步
建模
第三步
装配
第四步：
报告
SpectraRay/4 光谱椭偏仪软件提供了一个面向工作流程的用户友好界面，用于操作 SENTECH 光谱椭偏仪工具 以及一整套用于建模、拟合和表示椭偏数据的工具。用户界面包括面向操作员的配方操作和用于交互式测量和建模的高级模式。
灵活性和模块化
SpectraRay/4 光谱椭偏仪软件具有单轴和双轴各向异性材料测量、薄膜厚度测量和层测量功能。该软件可处理去极化、不均匀性、散射（穆勒矩阵）和背面反射等样品效应。
该软件包括一般光谱椭偏仪软件包的所有实用程序，用于数据导入和导出（包括 ASCII）、文件管理、光谱运算、显示、打印和报告（Word 文件格式 *.doc）。脚本功能使其非常灵活，可自动进行常规测量、为要求苛刻的应用定制测量，以及控制传感器、加热台、样品池或低温恒温器等第三方硬件。
