等离子工艺技术
等离子蚀刻系统
森泰克低损伤蚀刻系统的灵活和模块化特性使其适用于广泛的应用领域。了解我们的工具如何帮助您在低等离子功率下实现高纵横比蚀刻工艺。
等离子沉积系统
了解我们多用途、耐用的低损伤沉积系统如何在低温条件下为沉积的电介质薄膜提供出色的性能。
原子层沉积系统
了解如何利用我们的专业 ALD 和 PEALD 工具，在工艺循环期间精确控制膜层厚度，从而在三维结构上实现出色的低不均匀性和高保形性超薄薄膜沉积。
用于蚀刻和沉积的集群工具
了解我们高度通用、坚固耐用的集群配置如何结合多种 SENTECH 工艺模块技术，为您的等离子刻蚀和沉积工艺提供可重复性、高产量和高产能。
