森泰克薄膜计量研讨会和讲习班于2024年10月9日至10日在位于柏林阿德列尔肖夫的森泰克园区举行。
我们的特邀发言人与来自国际计量界的代表们分享了最新的、引人入胜的应用研究成果。
来自研发部门和工业界的特邀专家出席了2024年森泰克薄膜计量研讨会和讲习班，并就以下主题发表演讲：薄膜化学成分的傅立叶变换红外光谱分析、基于碳化硅技术的质量控制、结合椭偏仪和透射测量表征金属薄膜中的电渗流、对碳化硅上高κ电介质原子层沉积的原位光谱椭偏仪监测、使用同步辐射的紫外椭偏仪与紫外可见光椭偏仪的光学常数比较，以及结合 XPS 和光谱椭偏仪对 ALD 薄膜的原位分析。
除了第一天的薄膜计量研讨会外，第二天的研讨会还包括椭偏仪入门到更高级的使用案例。来自森泰克计量应用团队的专家们与参会代表就个别应用案例展开讨论，共同探讨非保密应用所面临的挑战和解决方案。
SENTECH 感谢所有受邀演讲者为会议议程做出的贡献，感谢所有代表的关注、提问和深入讨论。
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