用于大规模集成（量子）光子电路的混合金属氧化物氮化硅材料平台 "墨西哥项目"
光子学领域的前沿研究主要集中在开发用于（量子）光子集成电路的材料，以实现先进的光学和非线性功能。如何使这些材料成为可靠的、可随时使用的平台，与微电子技术兼容，可进行大规模生产，并确保全球供应链的安全，是一项重大挑战。"墨西哥项目"采用了一种大胆的替代方法，利用沉积在波导顶部的光学活性金属氧化物，对兼容 CMOS 的氮化硅（SiN）平台进行功能化。SENTECH Instruments GmbH 将研究和开发一种新型 ALD 超级循环工艺，以便在波导上沉积光学活性氧化物涂层。将氮化硅波导与可扩展、便于代工的金属氧化物相结合、 "墨西哥" 为在无源 SiN 框架内实现新的光学主动功能打开了大门。
这种方法为生产具有尖端（量子）光学功能、成本效益高、商业上可行的新型光子元件铺平了道路。阅读有关该项目的更多信息 点击此处.
项目合作伙伴
- SENTECH Instruments GmbH - Berlin / Germany
- X-FAB Global Services GmbH - Erfurt / 德国
- Akhetonics GmbH - Berlin / Germany
- 弗劳恩霍夫应用光学和精密工程研究所（IOF） - 耶拿 / 德国
项目简介
- 计划 量子系统研究计划
- 筹资倡议 量子系统的创新材料和工艺
- 项目量 - 250 万欧元（72.4% 由 BMBF 资助）
- 项目期限 - 2024 年 10 月 1 日至 2027 年 9 月 30 日
