迎接在晶圆级集成原子层沉积 (ALD) 生长的二维 (2D) 材料的先进工艺开发挑战
利用 SENTECH 集群系统，"波鸿二维电子系统微电子研究实验室"（ForLab PICT2DES）项目旨在实现晶圆级微电子和微系统技术的高级应用。二维（2D）材料（如过渡金属二掺杂化合物（TMDs））所具有的独特光学、热学和机械特性，在不断发展的微技术领域有着极为广阔的应用前景，包括高灵敏度传感器、超薄逻辑器件、纳米发电机、电子器件和光电器件。
虽然这些材料带来了一些工艺挑战，但通过二维材料的层厚对电气和光学特性进行调整，在未来的应用案例中具有巨大的潜力。波鸿鲁尔大学（RUB）正致力于建立一个稳定、可扩展的工艺链，将晶圆级高产量的添加和减量技术相结合，从而实现向工业应用的转移。利用电子和传感器领域最薄的二维材料，二维材料可以实现全新的、透明的、灵活的和生物兼容的解决方案，并将资源消耗降至最低。
森泰克的一个多学科团队与波鸿鲁尔大学（RUB）的团队密切合作，提供灵活多用的设备，在二硫化钼（MoS2）二维材料的晶圆级微电子和微系统技术研究到应用之间架起一座桥梁。
如果您想进一步了解我们是如何克服超薄二维材料原子层沉积 (ALD) 工艺挑战的，请索取完整的案例研究。如需索取，请发送电子邮件至 marketing@sentech.de 注明您的详细联系方式和您所代表的公司。
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