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Home > Application > Plasma deposition > Etch mask

Etch mask

Etch mask 1

Ge sensor, backside
Si substrate
Mask: low stress Si₃N₄
KOH wet etching

Products:

Etch mask 2

Ge sensor, frontside
Si substrate
low stress Si₃N₄ etch stop and isolation layer
KOH wet etching

Products: